1.开机前检查实验室电源、温度和湿度等环境条件，当电压稳定，室温为21±5℃左右，湿度≤65％才能开机。

2.开机及安装试样。将钥匙旋转到“ON”部位，启动机器，将空气导入样品仓，准备安装试样。

3.制样。根据样品特性以及状态，选择相应的制样方法并制样。

4.安装试样。将试样按照要求装入样品仓。抽真空，准备观测。

5.观测试样。待机器提示后，调整机器，开始观测。

6.取出试样。观测结束后，将空气导入样品仓，取出试样。然后抽真空。

7.关机。系统进入真空状态后，将钥匙旋转到“OFF”部位，关机。

8.离开实验室前，须注意关灯，关空调。